用于未来折叠/柔性显示的NCD ALD封装技术

继曲面之后，推出了折叠式的智能手机，目前这种形态因素竞争为市场的焦点。三星电子的Galaxy Fold和Galaxy Z Flip采用了画面内折的形态因素,华为的Mate X采用了外折的新Out Folding形态因素。另外，还公开了超越这些显示屏的内外折叠，两次、三次折叠的滚筒式效果。

柔性显示是由柔性基板上增加驱动元件，标识元件，再有为了保护这些元件的封装膜来构成。现有，为形成折叠显示的封装膜适用了有/无机叠层构造的封装技术，无机膜使用了PECVD方式。

用机械连续施压后，像脆性比较弱的无机膜封装特性会下降，所以柔性显示开发初期本公司适用了厚度比较薄，且封装出色的ALD封装技术。结果对于ALD设备的信赖度及量产性的疑点，所以没有实现生产。

但，因原子层沉积无机膜的出色封装特性，迄今为止大学，研究所，相关显示企业还在使用ALD技术（无机膜）进行数十万次的折叠等研究及评价。

购买NCD大面积 ALD 沉积设备（ Lucida GD Series）的客户对于柔性显示也在使用代替PECVD无机膜的ALD Al2O3无机膜来评价folding来实际确认显示器件是否正常动作。In-folding和 Out-folding用显示器件是5.85英寸AMOLED面板，封装膜构造为30nm Al2O3 ALD/ 8㎛-Polyer/ 30nm Al2O3构成。进行了RA 60℃/90% for 500hr的信赖性评价后，在2R 显示开启状态进行20万次的In-folding和Out-folding的评价。Folding评价时显示器件无黑点等问题, Folding评价进行后，再次进行第二次RA 60℃/90% for 48hr的信赖性评价，之后观察TFE(Thin Film Encapsulation)状态。虽然进行了2测的信赖性评价及20万次的Folding，结果TEF上没有发现裂痕。
为了适用折叠手机，使用NCD的大面积原子层沉积设备，可适用薄的无机膜来实现比之前更好的封装特性，还可以同时进行多个显示器件的沉积作业来减少生产时间。

因此，为了满足比现在的折叠式手机更小的曲率半径，in/out-folding都需要的未来平板显示器的封装膜，NCD的大面积ALD设备就是解决方案。